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濕法清洗臺(tái)
濕法清洗臺(tái),具有溢流漂洗功能,按鍵控制進(jìn)水、排水,全程電阻率監(jiān)測(cè)??蛇M(jìn)行酸堿濕法腐蝕,lift-off工藝去膠清洗,硅、二氧化硅、氮化硅等濕法刻蝕。